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          昆明物理研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目(二次)中标结果公告

          发布时间:2020-09-11 阅读:281

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          昆明物理研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目(二次)中标结果公告

          项目名称:昆明物理研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目(二次)
          项目编号:0653-204000001016
          招标范围:货物名称:感应耦合等离子体刻蚀机。 数量:1台。 简要技术规格:感应耦合等离子体刻蚀机主要由以下部件组成:包括刻蚀腔体、进样室、等离子源、刻蚀终点监测、气路系统、真空系统、冷水机、控制单元等主要部件。该设备用于磷化铟,铟镓砷等化合物半导体材料刻蚀,可以用来刻蚀氧化硅,氮化硅。 备注:具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。
          招标机构:云南招标股份有限公司
          招标人:昆明物理研究所
          开标时间:2020-07-23 09:30
          公示时间:2020-09-01 14:44 - 2020-09-04 23:59
          中标结果公告时间:2020-09-11 00:08
          中标人:诠时科技有限公司
          制造商:0xford Instruments Nanotechnology Tools Limited trading as 0xford Instruments Plasma Technolog
          制造商国家或地区:英国

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